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磁控溅射脉冲电源

磁控溅射脉冲电源
           
  • 产品名称:磁控溅射脉冲电源
  • 产品热度:208
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  • 生产日期:06-02 
  • 生产批号:QXD-11391
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  • 生产厂家:上海安定电气
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  • 生产地址:上海市嘉定区方德路250弄
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产品介绍

磁控溅射脉冲电源

产品详情:

  • 额定输出160V,7A,单路可调
    · 低纹波、低噪声
    ·  低温漂,恒压时温度系数为50ppm/℃
    ·  高可靠性,能长时间稳定工作
    ·  恒压、恒流工作状态自动切换
    ·  过压、过流、过温和短路的自动脱扣断电保护
    ·  具有Remote Sensing功能,输出更准确
    ·  ListMode功能,可预存100组电压、电流和时间数据,简便输出方波电压或电流
    ·  可选配RS232或模拟接口
    ·  提供标准SCPI指令集,支持Agilent、NI VISA
    ·  风扇强制制冷
    ·  可拆卸的通风窗口
    ·  适用于19英寸标准上架机柜,高度4U,宽度1个标准机箱
  • 输入电压 220 VAC±10﹪,50/60 Hz,1 Ф
    输入功率 约 1900 VA
    输出额定电压 160 V
    输出最大电压 164.8 V
    输出电压变化范围 0~160 V
    输出电压分辨率 30 mV
    输出电压旋钮  10 圈
    输出电压设置准确度 ±(0.5﹪额定值+ 500 mV)
    输出额定电流 7 A
    输出最大电流 7.21 A
    输出电流变化范围 0~7 A
    输出电流分辨率 1.3 mA
    输出电流旋钮 10 圈
    输出电流设置准确度 ±(1﹪额定值+ 5 mA)
    电压纹波(5Hz~1MHz,RMS)(恒压) 1 mVrms
    电流纹波(5Hz~1MHz,RMS)(恒流) 2 mArms
    电源效应(恒压) 0.005﹪额定值+ 1 mV
    电源效应(恒流) 1 mA
    负载效应(恒压) 0.005﹪额定值+ 2 mV
    负载效应(恒流) 2 mA
    温度系数(恒压) 50 ppm/℃
    温度系数(恒流) 300 ppm/℃
    瞬态响应时间(恒压) 50 µs
    主控、受控电源并联 最多3台
    主控、受控电源串联 最多2台
    恒压指示 CV,绿色LED灯指示
    恒流指示 CC,红色LED灯指示
    工作环境温度和湿度  0~40 ℃ / 10﹪~90﹪ RH
    储藏温度和湿度 -10~60 ℃ / 低于90﹪ RH
    冷却系统 风扇强制制冷
    输出极性  正极或者负极都可以接地
    绝缘电压 ±500 V
    电压表最大显示 999.9
    电压表显示误差  ±(0.5﹪读值+ 5 个字),环境23 ℃ ± 5 ℃
    电压表温度系数 300 ppm/℃
    电流表最大显示 9.999
    电流表显示误差  ±(1﹪读值+ 5 个字) ,环境23 ℃ ± 5 ℃
    电流表温度系数 400 ppm/℃
    温控电路启动温度   100 ℃
    过压保护预设范围 16 V ~ 176 V
    过压保护动作时间  50 ms
    过流保护预设范围 0.7 A ~ 7.7 A
    过流保护动作时间  50 ms
    输入保险管 30 A
    输出保险管 10 A
    重量 40 kg
    尺寸  430×177×548 mm
发布:上海安定直流电源公司 时间: 2017-06-02 浏览:208 次